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　　金融界2025年2月13日消息，国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司取得一项名为“光刻机工件台监控系统”的专利，授权公告号CN 222439862 U，申请日期为2024年5月。

　　专利摘要显示，本实用新型涉及一种光刻机工件台监控系统，包括控制模块及报警模块，控制模块包括控制器及控制板卡，控制板卡与控制器连接，控制板卡用于连接光刻机工件台的电机驱动器，并用于通过电机驱动器控制工件台启停，控制器具有数字输入模块及模拟输入模块；报警模块包括一级停机报警单元及二级缓冲停机报警单元。如此，控制器具有数字输入模块及模拟输入模块，方便控制器通过数字输入模块及模拟输入模块连接外围变量传感器，来采集对工件台的监测数据，实现对多项外围变量指标的监测，在数据异常时，方便根据相应的数据异常策略通过报警单元发出二级预警，并通过控制控制板卡实现对工件台启停的控制。

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　　天眼查资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司，成立于2012年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本24000万人民币，实缴资本1700万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华卓精科科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目77次，知识产权方面有商标信息31条，专利信息599条，此外企业还拥有行政许可92个。

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